等离子表面处理设备中的等离子体是如何产生的？

不同设备中的放电反应

从等离子体表面处理设备型号来看，一般可分为大气等离子体表面处理设备和真空等离子体表面处理设备。 两者最直观的区别就是加工环境的不同。 前者是在开放空间或半封闭状态下常压放电，后者是在全封闭空间（即真空等离子表面处理设备的反应室）中进行，还需要真空的配合泵形成近真空环境。 然后进行低压辉光放电。

虽然两者看起来差别很大，但无论形式和反应环境如何，从微观角度来看，这些等离子体的形成过程基本相同。 我们甚至可以把两者放在一起讨论。

等离子体产生过程

我们都知道，当物质从较低能量的聚合态转变为较高能量的聚合态时，需要从外部供给能量（如加热、电场、辐射等）。 这种能量变化也在等离子体中发生。 钥匙。

当物质从固体转变为液体或液体转变为气体时，每个粒子需要0.01eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量。 当气体进一步吸收外界能量时常压等离子清洗机，分子的热运动进一步加剧，分子就会离解成原子。 这时，原子中的电子获得足够的能量，脱离电子，成为自由电子。 这称为气体电离的过程，也是等离子体产生的过程。 电离气体含有大量的电子、离子和一些中性粒子（原子和分子）。 电子和离子的电荷几乎相等。 它在宏观或平均意义上是电中性的。

这里我们以普通水为例。 当水温低于0°C时，水会呈现固态。 当温度在0℃到100℃之间时，水又会变成液态。 然而，当温度升至100°C以上时，水就会变成气态。 这是我们都知道的常识常压等离子清洗机，但是如果温度被加热到几万度呢？ 事实上，气体在接受如此大量的能量后，会转变为物质的第四态——等离子体。

总结在文章最后

等离子表面处理设备也类似，只是施加的能量形式不同。 等离子体形成后，可以利用它们的特性来进行一系列的工艺。

结尾

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